[J111p] 次世代アクチュエータシステム

[J111p-06] オンチップAFMの開発と単原子摩擦計測への応用

〇苅込 蕉太朗¹、安藤 泰久¹ (1. 東京農工大学)

キーワード：

AFM、MEMS、トライボロジー、3次元マイクロステージ