[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-02] SAE-MEMS加速度センサのシミュレーション技術の検討

〇外山 大登¹、砂川 優一朗¹、細井 覚¹、角野 響一¹、田中 有弥²、山根 大輔¹ (1. 立命館大学大学院理工学研究科、2. 群馬大学大学院理工学府)

キーワード：

MEMS、Capacitive accelerometer、Self-Assembled Electret、simulation、COMSOL

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