[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-03] 圧電フィラー分散高分子複合材料でハウジングしたマイクロ流体デバイスの基礎検討

〇片岡 澪¹、森 雄貴¹、超 羅¹、横山 奨¹、上辻 靖智¹ (1. 大阪工業大学)

キーワード：

マイクロ流体デバイス、圧電、圧電粒子複合材料、圧電－流体連成解析、有限要素法