[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-04] 偏光顕微ラマン分光法を用いたβ-Ga₂O₃の評価

〇冨成 大地¹、田島 広太郎、來海 博央¹ (1. 名城大学)

キーワード：

ラマン分光法、半導体材料、酸化ガリウム