[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-05] 余剰電子/ホールによる合成石英の破壊じん性向上

〇高橋 拓眞¹、松永 航¹、平方 寛之¹ (1. 京都大学)

キーワード：

破壊じん性、電子線照射、静電気、電子/ホール、合成石英

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