[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-06] 物理リザバーコンピューティングへの実装に向けた静電ばね効果を用いた共振加速度センサの開発

〇平田 一真¹、霜降 真希¹、バネルジー アミット¹、廣谷 潤¹、土屋 土屋¹ (1. 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻)

キーワード：

リザバーコンピューティング、機械学習、MEMS加速度センサ