[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-07] 自律振動静電MEMSミラー群の相互同期の検討

〇川島 優太¹、大木 幹也¹、霜降 真希¹、バネルジー アミット¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学大学院工学研究科マイクロエンジニアリング専攻)

キーワード：

静電型MEMSミラー、自律振動、相互同期、強制同期