[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-08] 銀焼成接合体に対するAl/Ni急速熱処理の効果

〇三枝 大也¹、安木 大恭、生津 資大¹ (1. 京都先端科学大学 工学研究科 ナノメカトロニクス研究室)

キーワード：

焼成銀、空隙率低減、機能性材料