[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-09] Structural and functional analysis of electron beam induced silicon nanodots embedded in thermally oxidized silicon film

〇しん あぶひらっじゅ¹、上町 真梧¹、中 庸行³、内藤 宗幸²、松本 龍介¹、生津 資大¹ (1. 京都先端科学大学、2. 甲南大学、3. 堀場製作所)

キーワード：

Silicon Nanodots、Raman Spectroscopy、Fracture Control、Silicon MEMS、MD Simulation

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