[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性

[J224p-14] ナノインデンテーション法を利用した非晶質・多結晶Si薄膜の熱伝導率、群速度、フォノン平均自由行程の算出

〇篠崎 義之¹、谷澤 大樹¹、高尻 雅之¹ (1. 東海大学)

キーワード：

熱輸送、熱伝導率、フォノン平均自由行程

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