講演情報
[S051p-30]加熱基板への衝突噴流の周期特性
〇王 天舒1、田之上 健一郎1、上道 茜1 (1. 山口大学)
キーワード：
Cold wall CVD、Impinging jet flow、Locally heated disc、Periodic property、Heat transfer coefficient
Cold wall CVD、Impinging jet flow、Locally heated disc、Periodic property、Heat transfer coefficient