[S051p] 流体工学の基礎と応用 (2)

[S051p-30] 加熱基板への衝突噴流の周期特性

〇王 天舒¹、田之上 健一郎¹、上道 茜¹ (1. 山口大学)

キーワード：

Cold wall CVD、Impinging jet flow、Locally heated disc、Periodic property、Heat transfer coefficient

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