講演情報

[J051-02]粒子分散系薄膜のナノインデンテーション試験に及ぼす基板の弾性率の影響

〇濵井 海斗1、木元 祐之介1、高橋 勉1、仙波 妙子2、山田 和義3 (1. 長岡技術科学大学、2. 新潟医療福祉大学、3. 兵庫県立大学)

キーワード:

Nanoindentation、Substrate effect、Thin Film