講演情報
[J052p-48]加熱基板上の衝突噴流における時間依存性流れパターンの観察
〇王 天舒1、田之上 健一郎1、上道 茜1 (1. 山口大学)
キーワード：
Cold wall CVD reactor、Unsteady impinging jet low、Flow separation、Local heated substrate
Cold wall CVD reactor、Unsteady impinging jet low、Flow separation、Local heated substrate