講演情報

[J053-10]流体の物性が熱式微小流量計測に与える影響の解析

〇加賀見 俊介1、土井原 良次1、古市 紀之1 (1. 産業技術総合研究所)

キーワード:

流量計測、マイクロ流体、熱式計測法