[J112] 次世代アクチュエータ・センサシステム

10:45 〜 11:00

[J112-01] 超高感度ダイヤモンドMEMSサマーメター

〇趙 文¹、戸田　 雅也²、小泉 聡¹、廖 梅勇¹ (1. 国立開発法人物質・材料研究機構、2. 東北大学工学部)

キーワード：

MEMS、ダイヤモンド、サマーメター