[J112] 次世代アクチュエータ・センサシステム

11:00 〜 11:15

[J112-02] 静電閉鎖チェック弁を用いた交流圧力源システム

楠田 悠賀¹、〇吉田 和弘¹、金 俊完¹ (1. 東京科学大学)

キーワード：

アクチュエータ、交流圧力源システム、チェック弁、静電駆動、MEMS