[J112p] 次世代アクチュエータ・センサシステム

[J112p-12] 3次元マイクロステージの精度向上に関する研究

〇塚田 伸太郎¹、安藤 泰久¹ (1. 東京農工大学)

キーワード：

MEMS、原子間力顕微鏡、櫛歯型静電アクチュエータ