[J162] マイクロナノ理工学：nmからmmまでの表面制御とその応用

13:45 〜 14:00

[J162-02] バー形高速原子ビーム源のエッチング特性評価と改善

〇大島 京祐¹、日野 太智¹、三好 勇貴¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

高速原子ビーム、表面活性化接合、常温接合、Arプラズマ