講演情報

[J221p-01]圧電薄膜特性がMEMS-BAWジャイロの性能に及ぼす影響の解析と共振子の試作

〇岩田侑次郎¹、吉田慎哉¹ (1. 芝浦工業大学)

BAWジャイロ、圧電材料、PZT単結晶、スケールファクタ、MEMS共振子