[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-01] 圧電薄膜特性がMEMS-BAWジャイロの性能に及ぼす影響の解析と共振子の試作

〇岩田 侑次郎¹、吉田 慎哉¹ (1. 芝浦工業大学)

キーワード：

BAWジャイロ、PZT単結晶、スケールファクター、角度ランダムウォーク