[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-05] 薄膜金属ガラスの熱処理条件による内部応力変化

〇山間 稜也¹、高瀬 駿¹、葦刈 佑季¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

薄膜内部応力、内部応力測定、MEMS、薄膜金属ガラス