[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-06] 軟磁性磁歪材料を用いたMEMS磁歪式振動ハーベスタの試作

〇坂本 達哉¹、佐野 光哉¹、高瀬 駿¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

環境発電、磁歪、MEMS、振動ハーベスタ