[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-11] マイクロコイルに向けた自己ロールアッププロセスの検討

〇山田 利幸¹、兼松 大揮¹、岡 智絵美¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1. 名古屋大学)

キーワード：

マイクロコイル、MEMS、バイメタル効果、薄膜金属ガラス