[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-14] 分極反転層の音響エネルギー閉じ込めを利用したBAW型液体センサ応用

〇小田 航^1,2、今井 優希^1,2、鈴木 基嗣^1,2、島野 耀康^1,2、柳谷 隆彦^1,2 (1. 早稲田大学、2. 材研)

キーワード：

圧電共振子、液体センサ、音響インピーダンス、分極反転層