講演情報

[J221p-14]分極反転層の音響閉じ込め効果を用いた高粘性液体向けセンサ

〇小田航^1,2、今井優希^1,2、鈴木基嗣^1,2、島野耀康^1,2、柳谷隆彦^1,2 (1. 早稲田大学、2. 材研)

分極反転、BAW、液体センサ、ScAlN