講演情報

[J221p-15]周期的分極反転ScAlN薄膜とベタ電極からなるSAWデバイス

〇日高悠一郎^1,2、松村理司^1,2、島野耀康^1,2、柳谷隆彦^1,2 (1. 早稲田大学、2. 材研)

SAW、ScAlN、分極反転