[J221p] マイクロ・ナノ材料創成とそのデバイス応用

[J221p-16] 複素反射率法を用いた生体物質間反応の検出

〇和田 悠都^1,2、茂木 彩音¹、柳谷 隆彦¹ (1. 早稲田大学、2. 材研)

キーワード：

複素反射率、バイオセンサ、ｃ軸傾斜ScAlN薄膜