[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 (3)

14:15 〜 14:30

[J224-16] 多層薄膜構造の折りたたみ変形によるしわ形成

〇喜田 圭史希¹、宍戸 信之¹ (1. 近畿大学)

キーワード：

折りたたみ、しわ、多層薄膜