[S042p] 異種材料の界面強度評価と接合技術

[S042p-10] 絶縁基板に用いる窒化ケイ素の機械的特性評価

〇井上 詠心¹、大熊 仁徳¹、朱 世杰¹、小迫 雅裕²、匹田 政幸²、山縣 利貴³ (1. 福岡工業大学、2. 九州工業大学、3. デンカ株式会社)

キーワード：

窒化ケイ素、パワーモジュール、微視組織、曲げ試験