[S111] 機械要素の設計・製造・応用技術 (2)

11:15 〜 11:30

[S111-09] 繰返し押付け荷重下におけるDLC膜の硬さと膜厚が損傷形態に及ぼす影響の調査

〇松田 拳¹、中村 守正¹、松岡 敬¹ (1. 同志社大学)

キーワード：

DLC、繰返し押付け荷重、プラズマCVD