[S111] 機械要素の設計・製造・応用技術 (2)

11:30 〜 11:45

[S111-10] ピエゾアクチュエータと微細溝ガイドを用いたステージの駆動機構の検討

〇古賀 幸晴¹、清水 浩貴¹、田丸 雄摩¹ (1. 九州工業大学)

キーワード：

結晶異方性ウエットエッチング、ピエゾアクチュエータ、ステージ、摩擦