講演情報

14:00 〜 14:15

[S171-13]経年化した半導体製造設備に対するリスク低減方策の実施

〇天野政浩¹、清水尚憲³、北條理恵子²、是村由佳⁴、阿部雅二朗² (1. グローバルウェーハズ・ジャパン株式会社、2. 長岡技術科学大学、3. ジー・オー・ピー株式会社、4. 株式会社コレムラ技研)

半導体製造設備、SEMIスタンダード、リスクアセスメント、ハイブリッドマトリクス法