J.K. Schaeffer、W.J. Taylor、S.B. Samavedam、D.C. Gilmer、D.H. Triyoso、R.I. Hegde、S. Kalpat、C. Capasso、M. Sadd、M. Stoker、A. Haggag、D. Roan、B.E. White Jr.(1.Silicon Technology Solutions、2.Freescale Semiconductor)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード K. Tai、S. Yamaguchi、K. Tanaka、T. Hirano、I. Oshiyama、S. Kazi、T. Ando、M. Nakata、M. Yamanaka、R. Yamamoto、S. Kanda、Y. Tateshita、H. Wakabayashi、Y. Tagawa、M. Tsukamoto、H. Iwamoto、M. Saito、N. Nagashima、S. Kadomura(1.Semiconductor Technology Development Division, Semiconductor Business Group, Sony Corporation)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード N. Kitano、H. Arimura、S. Horie、T. Hosoi、T. Shimura、H. Watanabe、T. Kawahara、S. Sakashita、Y. Nishida、J. Yugami、T. Minami、M. Kosuda(1.Graduate School of Engineering, Osaka University、2.Renesas Technology Corporation、3.Canon ANELVA Corporation)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード C. S. Park、S. C. Song、C. Burham、H. B. Park、H. Niimi、B. S. Ju、J. Barnett、C. Y. Kang、P. Lysaght、G. Bersuker、R. Choi、H. K. Park、H. Hwang、B. H. Park、S. Kim、P. Kirsch、B. H. Lee、R. Jammy(1.UT/Austin、2.Samsung Assignee、3.TI Assignee、4.GIST, Korea、5.Poongsan Microtec、6.IBM Assignees)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード B. P. Linder、V. Narayanan、V. K. Paruchuri、E. Cartier、S. Kanakasabapathy(1.IBM Semiconductor Research and Development Center, Research Division、2.T. J. Watson Research Center, Yorktown Heights)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Hiroshi Matsubara、Hiroshi Kumagai、Satoshi Sugahara、Mitsuru Takenaka、Shin-ichi Takagi(1.Graduate School of Frontier Science, The University of Tokyo、2.Graduate School of Science and Technology, Tokyo Institute of Technology、3.School of Engineering, The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Sho Suzuki、Koji Kita、Hideyuki Nomura、Tomonori Nishimura、Akira Toriumi(1.Department of Materials Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード N. Taoka、Y. Yamashita、M. Harada、K. Ikeda、T. Yamamoto、N. Sugiyama、S. Takagi(1.MIRAI-ASRC、2.MIRAI-ASET、3.The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Tatsuro Maeda、Yukinori Morita、Shinichi Takagi(1.MIRAI, Advanced Semiconductor Research Center - National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (ASRC-AIST), AIST Tsukuba Central 4、2.The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Toshitake Takahashi、Yi Zhao、Tomonori Nishimura、Koji Kita、Akira Toriumi(1.Department of Materials Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Ruilong Xie、Chunxiang Zhu(1.Silicon Nano Device Lab, Dept of Electrical and Computer Engineering National University of Singapore)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード S. Zafar、Y. H. Kim、V. Paruchuri、V. Narayanan、B. Doris、A. Callegari、J. Stathis、T. Ning(1.IBM Semiconductor Research & Development Center (SRDC), Research Division)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Motoyuki Sato、Kikuo Yamabe、Kenji Shiraishi、Seiichi Miyazaki、Keisaku Yamada、Chihiro Tamura、Ryu Hasunuma、Seiji Inumiya、Takayuki Aoyama、Yasuo Nara、Yuzuru Ohji(1.Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. (Selete)、2.Univ. of Tsukuba、3.Hiroshima Univ.、4.Waseda Univ.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Takashi Onizawa、Motoyuki Sato、Takayuki Aoyama、Takahisa Eimori、Yasuo Nara、Yuzuru Ohji(1.Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード C. Y. Kang、P. Kirsch、D. Heh、C. Young、P. Sivasubramani、G Bersuker、S.C. Song、R. Choi、B. H. Lee、J. Lichtenwalner、J. S. Jur、A. I. Kingon、R. Jammy(1.IBM Assignee、2.Dept. of Materials Science and Engineering, North Carolina State University)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード T. Noda、W. Vandervorst、S. Felch、V. Parihar、C. Vrancken、S. Severi、T. Y. Hoffmann、A. Falpin、B. van Daele、T. Jannssens、H. Bender、P. Eyben、M. Niwa、R. Schreutelkamp、F. Nouri、P. P. Absil、M. Jurczak、K. De Meyer、S. Biesemans(1.Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.、2.IMEC、3.Applied Materials)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Nobuyuki Ikarashi、Makiko Oshida、Makoto Miyamura、Motofumi Saitoh、Akira Mineji、Seiichi Shishiguchi(1.NEC Corporation, Device Platforms Research Laboratories、2.NEC Electronics Corporation, Process Technology Division)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード N. Loubet、S. Denorme、A. Pouydebasque、F. Leverd、P. Gouraud、C. Tallaron、T. Skotnicki、D. Dutartre(1.STMicroelectronics、2.NXP Semiconductors)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Kyong Taek Lee、Chang Yong Kang、Rino Choi、Seung Chul Song、Byoung Hun Lee、Hi-Deok Lee、Yoon-Ha Jeong(1.Dept. of Electronic and Electrical Engineering, Pohang University of Science and Technology (POSTECH)、2.SEMATECH、3.IBM assignee、4.Dept. of Electronics Engineering, Chungnam National Univ, Korea、5.University of Texas at Austin)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Minseok Jo、Hokyung Park、Man Chang、Hyung-Suk Jung、Jong-Ho Lee、Hyunsang Hwang(1.Gwangju Institute of Science and Technology、2.Advanced process Development Team, System LSI Division, Samsung Electronics Company, Ltd., Korea.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Koji Eriguchi、Masayuki Kamei、Daisuke Hamada、Kenji Okada、Kouichi Ono(1.Graduate School of Engineering, Kyoto University、2.MIRAI-AIST)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード N. Mise、T. Matsuki、T. Watanabe、T. Robata、T. Morooka、T. Eimori、Y. Nara(1.Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Takashi Nakayama(1.Department of Physics, Chiba University)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Wenwu Wang、Koji Akiyama、Wataru Mizubayashi、Minoru Ikeda、Hiroyuki Ota、Toshihide Nabatame、Akira Toriumi(1.MIRAI-ASRC、2.MIRAI-ASET、3.The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Tomonori Nishimura、Koji Kita、Akira Toriumi(1.Department of Materials Engineering, School of Engineering, The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード K. Shiraishi、Y. Akasaka、G. Nakamura、M. Kadoshima、H. Watanabe、K. Ohmori、T. Chikyow、K. Yamabe、Y. Nara、Y. Ohji、K. Yamada(1.Graduate School of Pure and Applied Sciences, Univ. of Tsukuba、2.CREST, Japan Science and Technology Agency、3.Semiconductor Leading Edge Technology Inc.、4.Graduate School of Engineering, Osaka University、5.Nanotechnology Research Laboratories, Waseda University、6.National Institute of Materials Science、7.Present address: Tokyo Electron Inc.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Dai Ishikawa、Satoshi Kamiyama、Atsushi Sano、Sadayoshi Horii、Takayuki Aoyama、Yasuo Nara(1.Research Dept. 1, Semiconductor Leading Edge Technologies (Selete), Inc.、2.Research Dept. 2, Semiconductor Equipment System Lab., Hitachi Kokusai Electric Inc.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード I. Oshiyama、K. Tai、T. Hirano、S. Yamaguchi、K. Tanaka、Y. Hagimoto、T. Uemura、T. Ando、K. Watanabe、R. Yamamoto、S. Kanda、J. Wang、Y. Tateshita、H. Wakabayashi、Y. Tagawa、M. Tsukamoto、H. Iwamoto、M. Saito、M. Oshima、S. Toyoda、N. Nagashima、S. Kadomura(1.Semiconductor Technology Development Division, Semiconductor Business Group, Sony Corporation、2.Graduate School of Engineering, University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード X.P. Wang、M.-F. Li、H.Y. Yu、J.J. Yang、C.X. Zhu、W.S. Hwang、W.Y. Loh、A.Y. Du、J.D. Chen、Albert Chin、S. Biesemans、G.Q. Lo、D.-L. Kwong(1.SNDL, ECE Dept, National University of Singapore、2.Institute of Microelectronics, Singapore、3.IMEC、4.Dept. of Microelectronics, Fudan University、5.Dept. of Electronics Eng., Nat’l Chiao-Tung Univ.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード M. Muller、C. Hobbs、A. Zauner、S. Barnola、T. Salvetat、S. Lhostis、S. Couderc、P. Perreau、D. H. Triyoso、M. Raymond、E. Luckowski、M. Rafik、A. Cathignol、G. Ribes、D. Fleury、K. Romanjek、S. Pokrant、S. Jullian、P. Morin、M. Aminpur、P. Gouraud、C. Laviron、S. Zoll、P. Garnier、F. Salvetti(1.NXP Semiconductors、2.Freescale、3.STMicroelectronics、4.NXP Semiconductors, Research、5.CEA-LETI、6.Freescale Semiconductor Inc.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード X.P. Wang、J.J. Yang、H.Y. Yu、M.-F. Li、J.D. Chen、R.L. Xie、C.X. Zhu、A.Y. Du、P.C. Lim、Andy Lim、Y.Y. Mi、Doreen M.Y. Lai、W.Y. Loh、S. Biesemans、G.Q. Lo、D.-L. Kwong(1.SNDL, ECE Dept, National University of Singapore、2.Institute of Microelectronics、3.IMEC、4.Dept. of Microelectronics, Fudan University、5.Institute of Material Research and Engineering)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Andy E.-J. Lim、Rinus T.P. Lee、Alvin T.Y. Koh、Ganesh S. Samudra、Dim-Lee Kwong、Yee-Chia Yeo(1.Silicon Nano Device Lab., Dept. of Electrical & Computer Engineering, National University of Singapore)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Masakatsu Tsuchiaki、Akira Nishiyama(1.Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード K. Yamamoto、S. Sakashita、Y. Sato、M. Inoue、M. Anma、T. Oosuka、J. Yugami(1.Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.、2.RENESAS technology Corp.)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード G. Bidal、M. Muller、S. Denorme、D. Aime、M. Rafik、A. Cathignol、G. Ribes、S. Pokrant、P. Gouraud、T. Kormann、G. Chabanne、C. Blanc、S. Bonnetier、D. Barge、C. Laviron、A. Tarnowka、G. Ghibaudo、F. Boeuf、T. Skotnicki(1.NXP Semiconductors、2.STMicroelectronics、3.Freescale、4.CEA-LETI、5.IMEP)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Keiji Ikeda、Noriyuki Taoka、Yoshimi Yamashita、Masatomi Harada、Kunihiro Suzuki、Toyoji Yamamoto、Naoharu Sugiyama、Shin-ichi Takagi(1.MIRAI-ASET、2.MIRAI-ASRC、3.The University of Tokyo)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード H. Zang、W. Y. Loh、J. D. Ye、T. H. Loh、G. Q. Lo、Byung Jin Cho(1.Silicon Nano Device Lab, Dept of ECE, National University of Singapore、2.Institute of Microelectronics)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Jeong-Hyong Yi、Saeroonter Oh、H. -S. Philip Wong(1.Center for Integrated Systems and Dept. of Electrical Engineering, Stanford University)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Rui Li、S. J. Lee、D. Z. Chi、M. H. Hong、D. -L. Kwong(1.Silicon Nano Device Lab, Department of ECE, National University of Singapore、2.Institute of Materials Research and Engineering、3.Laser Microprocessing Lab, Department of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore、4.Institute of Microelectronics)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Grace Huiqi Wang、Eng-Huat Toh、Keat-Mun Hoe、S. Tripathy、S. Balakumar、Guo-Qiang Lo、Ganesh Samudra、Yee-Chia Yeo(1.Silicon Nano Device Lab., Dept. of Electrical and Computer Engineering, National University of Singapore)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード S. S. Chung、D. C. Huang、C. S. Lai、C. H. Tsai、P. W. Liu、Y. H. Lin、C. T. Tsai、G. H. Ma、S. C. Chien、S. W. Sun(1.Department of Electronic Engineering, National Chiao Tung University, Taiwan、2.Chang-Gung University, Taiwan、3.United Microelectronics Corporation (UMC), Central R&D Division, Taiwan)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード R. Clerc、Q. Rafhay、M. Ferrier、P. Palestri、G. Ghibaudo、L. Selmi(1.IMEP, Minatec-INPG、2.DIEGM, University of Udine)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Hideaki Tsuchiya、Shin-ichi Takagi(1.Kobe University, Graduate School of Engineering、2.MIRAI-ASRC、3.The University of Tokyo, Graduate School of Frontier Science)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Q. Rafhay、P. Palestri、D. Esseni、R. Clerc、L. Selmi(1.IMEP, Minatec-INPG、2.DIEGM, University of Udine)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Shuichi Toriyama、Nobuyuki Sano(1.Advanced LSI Technology Laboratory, Toshiba Corporation、2.Institute of Applied Physics, University of Tsukuba)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Gennady Mil'nikov、Nobuya Mori、Yoshinari Kamakura、Tatsuya Ezaki(1.Osaka University, Department of Electrical, Electronic and Informatics Engineering、2.Hiroshima University)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード H. Fitriawan、S. Souma、M. Ogawa(1.Graduate School of Science and Technology, Kobe University、2.Department of Electrical and Electronics Engineering, Kobe University)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード Kiyotaka Imai(1.Advanced Device Development Division, NEC Electronics Corporation)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード J.-P. Han、Y. M. Lee、H. Utomo、R. Lindsay、M. Eller、J.C. Kim、V. Sardesai、V. Chan、S. Fang、J. Holt、T.N. Adam、H. Zhuang、W. Wille、Z. Lun、H. Wang、T. Dyer、J. Yan、O.J. Kwon、O.S. Kwon、C.W. Lai、T.J. Tang、S.S. Tan、J. Yuan、J. Li、H. Ng、H. Shang、J. Sudijono、D. Schepis、M. Ieong、Y. Li、J.H. Ku、A. Gutmann、M. Hierlemann(1.Infineon Technologies AG、2.Chartered Semiconductor Manufacturing Limited、3.IBM Semiconductor Research and Technology Group、4.Samsung Elec. Co. Alliances at IBM Semiconductor Research and Development Center (SRDC))
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
PDFダウンロード T. Miyashita、J. Ogura、T. Owada、T. Sakuma、H. Nomura、H. Miyaoka、A. Hasegawa、S. Yamaguchi、S. Satoh(1.Fujitsu Laboratories Ltd.、2.Fujitsu Limited)
2007 International Conference on Solid State Devices and Materials2007年9月18日(火)
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